一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

　　SuperView WX 100白光干涉測(cè)頭是一款非接觸式精密光學(xué)測(cè)頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點(diǎn)，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構(gòu)的平臺(tái)上，在產(chǎn)線上對(duì)器件表面進(jìn)行自動(dòng)化形式的測(cè)量，直接獲取與表面質(zhì)量相關(guān)的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數(shù)。

二、產(chǎn)品功能

1）測(cè)量功能：單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測(cè)量。

2）分析功能：能夠獲取關(guān)于表面質(zhì)量的粗糙度、微納級(jí)別的輪廓尺寸等2D、3D數(shù)據(jù)；

3）批量分析：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對(duì)同類型參數(shù)數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；

4）SDK軟件：提供SDK軟件和接口文檔，便于客戶集成到自己的機(jī)臺(tái)或設(shè)備中進(jìn)行控制應(yīng)用；

5）環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)：具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能，定量檢測(cè)出儀器受到外界環(huán)境干擾的噪聲振幅和頻率，為設(shè)備調(diào)試和故障排查提供定量依據(jù)

6）光源安全功能：光源設(shè)置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能，當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長(zhǎng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源，防止光源高亮過(guò)熱損壞，并有效延長(zhǎng)光源使用壽命；

7）鏡頭安全功能：雙重防撞保護(hù)，軟件ZSTOP防撞保護(hù)，設(shè)置后即以當(dāng)前位置為位移下限位，不再下移且伴有報(bào)警聲；設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)。

 四、性能特色

1、便攜可搭載 獨(dú)特懸臂式結(jié)構(gòu)，可方便地搭載在各類龍門架構(gòu)水平位移平臺(tái)上，通過(guò)軟件接口的連接，即可構(gòu)成一臺(tái)可自動(dòng)測(cè)量的超高級(jí)精度的光學(xué)3D表面輪廓儀；

2、復(fù)合型掃描算法 結(jié)合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移掃描重建算法，能夠適配 從超光滑到粗糙、光滑弧面等所有類型樣品，一鍵掃描，無(wú)須切換算法；

3、防撞保護(hù)功能 Z向防撞傳感器，當(dāng)鏡頭碰到樣件表面，進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，不再下移；